Obično korišteni poluvodički senzor pritiska koristi silikonsku pločicu N tipa kao podlogu. Prvo, od silikonske pločice se pravi elastični dio koji nosi naprezanje određene geometrije. Na dijelu silikonske pločice koji nosi naprezanje, izrađuju se četiri difuzijska otpornika P-tipa duž različitih smjerova kristala, a zatim se sa ova četiri otpornika formira Wheatstoneov most sa četiri kraka. Pod djelovanjem vanjske sile promjene vrijednosti otpora postaju električni signali. Ovaj Wheatstone most sa efektom pritiska je srce senzora pritiska, koji se obično naziva piezorezistivni most (kao što je prikazano na slici 1). Karakteristike piezorezistivnog mosta su sljedeće: ① vrijednosti otpora četiri kraka mosta su jednake (sve r0); ② Piezorezistivni efekat susednih krakova mosta je jednak po vrednosti i suprotnog predznaka; ③ Temperaturni koeficijent otpora četiri kraka mosta je isti i uvijek su na istoj temperaturi. Na sl. 1, R0 je vrijednost otpora bez naprezanja na sobnoj temperaturi; RT je promjena uzrokovana temperaturnim koeficijentom otpora (α) kada se temperatura promijeni; Υ Rδ je promjena otpora uzrokovana naprezanjem (ε); Izlazni napon mosta je u=I0 Δ Rδ=I0RGδ (most izvora konstantne struje).

Gdje je I0 struja izvora konstantne struje, a e napon izvora konstantnog napona. Izlazni napon piezorezistivnog mosta je direktno proporcionalan naprezanju (ε) i nema nikakve veze sa RT uzrokovanim temperaturnim koeficijentom otpora, što uvelike smanjuje temperaturni drift senzora. Najrasprostranjeniji poluprovodnički senzor pritiska je senzor za detekciju pritiska fluida. Njegova glavna struktura je kapsula napravljena od monokristalnog silicijuma (kao što je prikazano na slici 2). Dijafragma je napravljena u čašicu, a dno čaše je dio koji nosi vanjsku silu, a tlačni most je napravljen na dnu čaše. Prstenasto postolje je napravljeno od istog silikonskog monokristalnog materijala, a zatim je dijafragma vezana za postolje. Ova vrsta senzora pritiska ima prednosti visoke osjetljivosti, male zapremine i čvrstoće, te se široko koristi u avijaciji, svemirskoj navigaciji, instrumentima za automatizaciju i medicinskim instrumentima.