Struktura piezoresističkog senzora

U ovom senzoru, otpornički trak je integriran na monokristalnu silicijumsku dijafragmu po procesu integracije kako bi se napravio silikonski piezoresististivni čip, a periferija ovog čipa je učvršćena u školjku, a vodeći elektrode. Piezoresistisni senzor pritiska, poznat i kao čvrsti stabilni senzor pritiska, razlikuje se od mjerača za ljepljive napomene, koji je potrebno osjetiti vanjsku silu, ali direktno osjeća izmjereni tlak kroz silicijumsku dijafragmu.

Jedna strana silicijske dijafragme je visokotlačna šupljina koja komunicira s izmjerenim tlakom, a druga strana je šupljina niskog pritiska komunikacija s atmosferom. Općenito, silikonska dijafragma dizajnirana je kao krug s fiksnom periferijom, a omjer promjera debljine je oko 20 ~ 60. Četiri p-a otpornosti na kružnu most, a druga su u zoni tlaka, a druga je u zoni zatezanja, koja su simetrična u odnosu na sredinu dijafragme.

Pored toga, tu su i kvadratni silikonski dijafragma i senzor stupca silicijuma. Silikonski cilindrični senzor izrađen je i od otpornih traka difuzijom u određenom smjeru kristalne ravnine silikonskog cilindra, te dvije zatezne otporne trake i dva pritiska pritiska pritiska.

Piezoresistive senzor je uređaj izrađen difuzijskim otporom na podlogu poluvodičkog materijala prema piezoresististivom učinku poluvodičkog materijala. Njegova supstrat može se izravno koristiti kao mjerni senzor, a difuzijski otpor povezan je u supstratu u obliku mosta.

Kada je supstrat određena vanjska sila, vrijednosti otpornosti će se promijeniti i most će proizvesti odgovarajući neuravnoteženi izlaz. Supstrat (ili dijafragme) korištene kao piezoresistive senzori uglavnom su silikonski vafli i germanijumski vafli. Silikonski piezoresistivni senzori napravljeni od silicijuma kao osjetljivi materijali privukli su sve više i više pažnje, posebno solid-state piezoresistististi senzori za mjerenje tlaka i brzine najčešće se koriste.