Primjenjivo na Passat Common Rail senzor pritiska goriva 06E906051K

1. Metoda za formiranje senzora pritiska, koja se sastoji od:

Obezbeđivanje poluprovodničke podloge, pri čemu su prvi međuslojni dielektrični sloj, prvi međuslojni dielektrični sloj i drugi međuslojni dielektrični sloj formirani na poluprovodničkoj podlozi.

Donja elektrodna ploča u prvom međuslojnom dielektričnom sloju, prva zajednička elektroda smještena na istom sloju kao i donja elektrodna ploča i razmaknuta.

Spojni slojevi;

Formiranje žrtvenog sloja iznad donje polarne ploče;

Formiranje gornje elektrodne ploče na prvom međuslojnom dielektričnom sloju, prvom međuslojnom sloju i žrtvom sloju;

Nakon formiranja žrtvenog sloja i prije formiranja gornje ploče, u prvom međuveznom sloju

Formiranje veznog žlijeba i popunjavanje priključnog žlijeba gornjom pločom za električno povezivanje s prvim slojem međupovezivanja;ili,

Nakon formiranja gornje elektrodne ploče formiraju se vezni žljebovi u gornjoj elektrodnoj ploči i prvom međuveznom sloju, koji

Formiranje provodljivog sloja koji povezuje gornju elektrodnu ploču i prvi međuvezni sloj u priključnom žljebu;

Nakon električnog povezivanja gornje ploče i prvog međusobnog sloja, uklanja se žrtveni sloj kako bi se formirala šupljina.

2. Metoda za formiranje senzora pritiska prema zahtjevu 1, naznačena time, što je u prvom sloju

Metoda za formiranje žrtvenog sloja na međuslojnom dielektričnom sloju sastoji se od sljedećih koraka:

Nanošenje sloja žrtvenog materijala na prvi međuslojni dielektrični sloj;

Uzorak sloja žrtvenog materijala kako bi se formirao žrtveni sloj.

3. Postupak za formiranje senzora pritiska prema zahtjevu 2, naznačen time, što se koriste fotolitografija i graviranje.

Sloj žrtvenog materijala je oblikovan postupkom jetkanja.

4. Metoda za formiranje senzora pritiska prema zahtjevu 3, naznačena time, što je oštećeni sloj

Materijal je amorfni ugljenik ili germanijum.

5. Metoda za formiranje senzora pritiska prema zahtjevu 4, naznačena time, što je oštećeni sloj

Materijal je amorfni ugljenik;

Gasovi za jetkanje koji se koriste u procesu jetkanja sloja žrtvenog materijala uključuju O2, CO, N2 i Ar;

Parametri u procesu jetkanja sloja žrtvenog materijala su: opseg protoka O2 je 18 SCCM ~ 22 SCCM, a protok CO je 10%.

Brzina protoka se kreće od 90 SCCM do 110 SCCM, brzina protoka N2 se kreće od 90 SCCM do 110 SCCM, a brzina protoka Ar.

Raspon je 90 SCCM ~ 110 SCCM, opseg pritiska je 90 mtor ~ 110 mtor, a snaga prednapona je

540w～660w。