Senzor pritiska motora 2CP3-68 1946725 za bagera Carter

Metoda za pripremu senzora pritiska, koju karakteriziraju sljedeći koraci:

S1, koji daje pločicu sa stražnjom i prednjom površinom; Formiranje piezorezistivne trake i jako dopirane kontaktne površine na prednjoj površini pločice; Formiranje duboke šupljine pod pritiskom nagrizanjem stražnje površine pločice;

S2, lijepljenje potpornog lima na poleđini oblatne;

S3, proizvodnja olovnih rupa i metalnih žica na prednjoj strani pločice, te povezivanje piezorezistivnih traka za formiranje Wheatstoneovog mosta;

S4, taloženje i formiranje pasivizirajućeg sloja na prednjoj površini vafla i otvaranje dijela pasivirajućeg sloja kako bi se formirala površina metalne podloge. 2. Metoda proizvodnje senzora pritiska prema patentnom zahtjevu 1, naznačena time što S1 posebno uključuje sljedeće korake: S11: obezbjeđivanje oblatne sa stražnjom i prednjom površinom i definiranje debljine filma osjetljivog na pritisak na pločici; S12: ionska implantacija se koristi na prednjoj površini pločice, piezorezistivne trake se proizvode postupkom difuzije na visokim temperaturama, a kontaktna područja su jako dopirana; S13: nanošenje i formiranje zaštitnog sloja na prednjoj površini vafla; S14: nagrizanje i formiranje duboke šupljine na poleđini pločice kako bi se formirao film osjetljiv na pritisak. 3. Metoda proizvodnje senzora tlaka prema zahtjevu 1, naznačena time što je pločica SOI.

Godine 1962, Tufte et al. je po prvi put proizveo piezorezistivni senzor pritiska sa difuznim silikonskim piezorezistivnim trakama i strukturom silikonskog filma i započeo istraživanje piezorezistivnog senzora pritiska. Kasnih 1960-ih i ranih 1970-ih, pojava tri tehnologije, naime, tehnologije anizotropnog jetkanja silikona, tehnologije ionske implantacije i tehnologije anodnog vezivanja, donijela je velike promjene u senzoru pritiska, što je odigralo važnu ulogu u poboljšanju performansi senzora pritiska. . Od 1980-ih, s daljnjim razvojem tehnologije mikromašinske obrade, kao što je anizotropno jetkanje, litografija, difuzijsko dopiranje, ionska implantacija, vezivanje i premaz, veličina senzora pritiska je kontinuirano smanjena, osjetljivost je poboljšana, a izlaz je visok i performanse su odlične. U isto vrijeme, razvoj i primjena nove tehnologije mikromašinske obrade čini debljinu filma senzora pritiska precizno kontroliranom.